목차. KR20180125993A KR1020187029270A KR20187029270A KR20180125993A KR 20180125993 A KR20180125993 A KR 20180125993A KR 1020187029270 A KR1020187029270 A KR 1020187029270A KR 20187029270 A KR20187029270 A KR 20187029270A KR … Classifications. 세라믹 히터(10)는, 내주측 및 외주측 저항 발열체(22, 24)를 내장한 세라믹 플레이트(20)와, 그 이면(20b)에 접합된 통형 샤프트(40)를 구비한다. 세라믹 히터는, 원판형의 세라믹 플레이트의 상면에 웨이퍼를 배치하기 위한 웨이퍼 배치면을 갖고 있다. . . 무엇보다도, 히터는 습도가 높은 객실에서 사용할 수있는 유일한 사람입니다. 본 발명은 가열면의 각 부위에 있어서의 균열성이 높은 세라믹 히터를 제공하는 것을 목적으로 한다. 개시된 본 발명은 세라믹 히터(Ceramic Heater)에 발열체 회로와 별도의 온도 센서 회로를 내장한 형태를 정밀 회로 인쇄 기술과 적층 기술을 이용해 코파어링(Cofiring) 공법으로 제작하기 위한 세라믹 히터에 관한 것으로서, 세라믹 히터에 있어서, 상기 제 1 기판 ; 상기 제 1 기판 상부에 소정 패턴으로 .시장 지향적이고 고객 중심적인 것은 우리가 추구해 온 것입니다. KR101598014B1 KR1020127007158A KR20127007158A KR101598014B1 KR 101598014 B1 KR101598014 B1 KR 101598014B1 KR 1020127007158 A KR1020127007158 A KR 1020127007158A KR 20127007158 A KR20127007158 A KR 20127007158A KR 101598014 B1 KR101598014 … 본 발명은 세라믹 히터에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 소형의 단위세라믹체들을 발열체에 조립결합시켜, 길이 조절이 가능하고 말림이 가능하여 가열 대상체의 외형이나 부피가 달라지더라도 폭 넓은 범위에서 장착하여 … 세라믹 히터는 화재 안전의 높은 수준을 가지고있다. 세라믹 히터(10)는, 외주측 저항 발열체(24)를 내장한 세라믹 플레이트(20)와, 선단의 측온부(50a)에서 외주측 존 Z2의 온도를 측정하는 외주측 열전대(50)를 구비하고 있다.
샤프트가 있는 세라믹 히터는, 저항 발열체가 매설된 세라믹 플레이트와, 세라믹 플레이트의 웨이퍼 배치면과는 반대쪽 면에 상단이 접합된 중공의 세라믹 샤프트, 그리고 세라믹 샤프트의 상단측 측벽에 매설된 샤프트 가열부를 구비한다.히터. 1,320원. 세라믹 히터 Download PDF Info Publication number KR20210098861A. 세라믹 히터 Download PDF Info Publication number KR100512350B1. .
본 발명은 세라믹기판의 내부에 저항발열체가 설치된 세라믹 히터로서, 그 저항발열체는 도전성 세라믹으로 이루어지는 동시에, 그 저항발열체의 적어도 표면에는 소결 조제 함유층이 존재하는 것을 특징으로 하는 것이다. - 세라믹&밴드히터. . 세라믹 플레이트(20)의 내부에는, 제1 및 제2 저항 발열체(21, 22)가 매설되어 있다. 세라믹 히터 Download PDF Info Publication number KR20180125993A. 플레이트(20)는, 이면에 바닥이 있는 원형 오목부(23)를 갖고 있다.
나온웍스 스마트 워크 보안 솔루션 기업정보 - 나온 웍스 오늘의 포스팅 주제 1. 세라믹 전기전도물질은 전기전도 세라믹 상의 입자가 모체 세라믹 상에 분포되어 있는 구조를 가지며, 30 내지 80 중량% 범위의 세라믹 전기전도 상을 갖는다. 긴 구멍(26)는, 세라믹 플레이트(20)의 직경 방향으로부터 벗어난 방향을 따라 마련되고, 샤프트 내 영역(20d)의 기점 S로부터 세라믹 플레이트(20)의 외주부의 . 시즈히터 세라믹&밴드히터 투입히터 주물히터 코일히터 핀히터 도금용히터 실리콘라바히터 세라믹몰딩히터 동파방지케이블히터 카트리지히터 원적외선히터 방폭형히터 열풍기 건조기 MI … 본 발명은 세라믹 히터 발열체를 제조하는데 있어 고화제 혹은 경화제를 포함하지 않고 알루미나 시멘트 10∼20중량％, 카본 30∼40중량％, 물 40∼50중량％, 게르마늄 등 다양한 종류의 천연석의 종석 또는 석분 10∼20중량％ 로 혼합시킨 저온 제조용 세라믹 히터 조성물에 관한 것이다. 세라믹 플레이트(20)는, 웨이퍼 배치면을 가지고, 원형의 내주측 존(z1)과 환형의 외주측 존(z2)[외주측 제1∼제3 존(z21∼z23)]을 구비하고 있다. 히터(1)와, 히터(1)에 통전하여 히터(1)를 승온시키는 전극(2)을 적어도 구비하는 세라믹 히터 유닛(20)이며, 히터(1)와 전극(2)은 .
본 발명의 세라믹 히터는 세라믹 기판의 표면에 매설된 . 그래서 발열 속도가 느린 편이지만 파장이 길고 내심부에 침투하여 열을 가하므로 넓은 범위와 특수한 . 2022 · 아래 사진은 세라믹히터 중에서 가장 많이 사용하는 히터이다 세라믹히터 특징 세라믹히터는 열선에 세라믹을 주형하여 제작된 전기 히터이다. KR20180125993A KR1020187029270A KR20187029270A KR20180125993A KR 20180125993 A KR20180125993 A KR 20180125993A KR 1020187029270 A KR1020187029270 A KR 1020187029270A KR 20187029270 A KR20187029270 A KR … 세라믹 히터(10)는, 웨이퍼 적재면을 갖는 원반상의 세라믹 플레이트(20)와, 세라믹 플레이트(20)의 웨이퍼 적재면과는 반대측의 면에 마련된 샤프트(40)를 구비한다. 2023 · 세라믹&밴드히터 투입히터 주물히터 코일히터 핀히터 도금용히터 실리콘라바히터 세라믹몰딩히터 동파방지케이블히터 카트리지히터 원적외선히터 방폭형히터 열풍기 건조기 MI-Heating … 세라믹 기판(2)의 내부는 상부 평면 저항 발열체(3) 및 하부 저항 발열체(4)가 세라믹 기판(2)의 두께 방향으로 층상을 이루도록 배치된다. 세라믹 플레이트(20)는, 웨이퍼 배치면(20a)을 가지고, 불순물로서 탄소 성분을 포함하고, 내주측 존(Z1)과 외주측 존(Z2)으로 나뉘어져 있다. KR20200091591A - 세라믹 히터 - Google Patents 세라믹 히터의 히터부와 통상 금속 부재의 접합 강도를 향상시키고, 내구성을 향상시키는 것을 과제로 한다. 전압 : 220 v C. 본 발명은 본 발명은 세라믹 히터에 관한 것으로서, 본 발명의 세라믹 히터는, 발열체 또는 고주파 전극이 배치된 세라믹 재질의 히터 플레이트로서, 개구부의 내주면에 형성된 나사산 및 상기 발열체 또는 고주파 전극과 전기적으로 연결되며 상기 개구부의 바닥면에 노출되도록 매설되어 있는 . .패키징. 이를 위해, 본 고안은 세라믹 기판 양측단에 배열된 전극 간격을 중앙부에서 바깥측으로 갈수록 좁게하고, 세라믹 기판 상,하단에 배열된 전극의 끝단부 면적을 중앙부의 전극 폭 면적보다 좁게 구성함을 특징으로 한다.
세라믹 히터의 히터부와 통상 금속 부재의 접합 강도를 향상시키고, 내구성을 향상시키는 것을 과제로 한다. 전압 : 220 v C. 본 발명은 본 발명은 세라믹 히터에 관한 것으로서, 본 발명의 세라믹 히터는, 발열체 또는 고주파 전극이 배치된 세라믹 재질의 히터 플레이트로서, 개구부의 내주면에 형성된 나사산 및 상기 발열체 또는 고주파 전극과 전기적으로 연결되며 상기 개구부의 바닥면에 노출되도록 매설되어 있는 . .패키징. 이를 위해, 본 고안은 세라믹 기판 양측단에 배열된 전극 간격을 중앙부에서 바깥측으로 갈수록 좁게하고, 세라믹 기판 상,하단에 배열된 전극의 끝단부 면적을 중앙부의 전극 폭 면적보다 좁게 구성함을 특징으로 한다.
KR102298654B1 - 내구성이 개선된 세라믹 히터 - Google Patents
세라믹 히터(10)는, 웨이퍼 배치면(20a)을 가지며 저항 발열체(22)를 내장한 세라믹제의 플레이트(20)와, 플레이트(20)의 이면(20b)에 접합된 통형이며 세라믹제의 통형 샤프트(30)를 구비하고 있다. . 2023 · 시즈히터 세라믹&밴드히터 투입히터 주물히터 코일히터 핀히터 도금용히터 실리콘라바히터 세라믹몰딩히터 동파방지케이블히터 카트리지히터 원적외선히터 방폭형히터 열풍기 건조기 MI-Heating Cables 호퍼드라이히터 센서 테프론히터. 본 발명은 일반적인 세라믹 히터의 고온 소성에 의한 제조 방식이 아닌 저온에서 제조가 가능하도록 하는 세라믹 히터 조성물에 관한 것이다. 세라믹 히터) 세라믹 규소 발열관 모듈 (IS-CRM-SC_000001) A. 세라믹카트리지히터/12v/40w/30mm/1M.
KR20210058993A KR1020217013827A KR20217013827A KR20210058993A KR 20210058993 A KR20210058993 A KR 20210058993A KR 1020217013827 A KR1020217013827 A KR 1020217013827A KR 20217013827 A KR20217013827 A KR 20217013827A KR … 세라믹 히터 Download PDF Info Publication number KR20210068128A.999%이상의 고순도 알루미나 분말과 MgO 첨가제를 사용하여 히터 기판을 제작함으로써, 고온, 고전압에서의 내구성이 . KR20210098858A KR1020210011320A KR20210011320A KR20210098858A KR 20210098858 A KR20210098858 A KR 20210098858A KR 1020210011320 A KR1020210011320 A KR 1020210011320A KR 20210011320 A KR20210011320 A KR 20210011320A KR … 세라믹히터는 세라믹체 내에 가열소자를 매설함으로써 형성된다. 본 발명은 전극부 주위의 세라믹 면에서 크랙 발생을 방지하여 내구성을 향상시키기 위하여, 전극 로드의 지지부 끝이 대향하는 세라믹 면과 이격되도록 하고 전극 로드의 지지부 끝의 주변에 필러 뭉치가 자리잡을 공간을 마련하여, 지지부의 팽창이나 필러 뭉치에 의해 세라믹 면에 가해지는 . 본 발명에 의할 경우, 외관인 꽈배기형 세라믹 본체와 그 내부에 수밀하게 구비되는 카본발열체가 . 세라믹 플레이트의 내주 영역에는 1 이상의 내주측 히터 엘리멘트가 매설되고, 외주 영역에는 1 이상의 외주측 히터 엘리멘트가 매설되어 있다.리히익스프레스 지수
외주측 저항 발열체(24)는, 세라믹 플레이트(20)의 중앙부에 마련된 한 쌍의 단자(24a, 24b) 중 한쪽으로부터 원환형의 외주측 존 Z2로 . KR19990008486A - 세라믹 히터 - Google Patents 세라믹 히터 Download PDF Info Publication number KR19990008486A. 여기에 단열부재, 케이스, 차폐 필름, 세라믹 하판을 선택적으로 추가하여, 여러 산업 분야에서 발열수단(창문형 히터 . 본 발명은 세라믹 히터에 관한 것으로서, 보다 상세하게, 세라믹 히터(100)에 포함된 발열체(400)의 동심원주를 연결하는 이음부 쌍의 이음부 쌍 대칭축이 발열체의 중심(420)을 지나지 않도록 발열체의 동심원주 이음부가 형성된 것을 … 샤프트를 갖는 세라믹 히터는, 저항 발열체가 매설된 세라믹 플레이트와, 세라믹 플레이트의 웨이퍼 배치면과는 반대측의 면에 접합된 중공의 세라믹 샤프트와, 세라믹 샤프트의 내주면에 축방향을 따르도록 형성된 복수의 세로홈과, 세로홈 내에 형성된 . 이러한 목적 달성을 위한 본 고안은 인가되는 전원에 의해 . 세라믹 히터 Download PDF Info Publication number KR20210098859A.
세라믹 히터는 리프트 핀의 승강을 위해 상하를 관통하는 다수의 핀홀들을 가지는 세라믹 몸체와, 상기 몸체의 내부에 구비되며, 외부로부터 인가되는 전원에 의해 열을 발생하여 상기 웨이퍼를 가열하기 위한 발열 부재 및 상기 몸체의 … 세라믹 히터 Download PDF Info Publication number KR20210055090A. . 제품명 : 세라믹 규소 발열관 모듈 (IS-CRM-SC_000001) B. . 본 발명은 세라믹 히터 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 발열체 및 유도 탄화체가 매설된 세라믹 분말층 구조를 성형하는 단계; 및 상기 세라믹 분말층 구조를 소결하는 단계를 포함하되, 상기 유도 탄화체는 상기 발열체 측면에 일정거리 이격 되어 매설되는 것을 특징으로 하는 세라믹 히터 제조 . … 본 발명은 피처리물을 지지, 가열하는 가열면이 마련된 세라믹 기체(基體)와, 기체 내에 매설되어 있는 발열체와, 가열면에서 피처리물과 접촉하는 엠보스부를 구비하는 세라믹 히터로서, 가열면의 열점에 의한 피처리물에의 악영향을 방지하는 것을 과제로 한다.
세라믹 히터(10)는, 세라믹 플레이트(12)와, 평면 전극(14)과, 저항 발열체(21)를 구비한다. 세라믹 히터, 소결, 페이스트, 발열체, Sic, C 본 발명은 세라믹 히터에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 발열체를 구성하기 위해 세라믹 소결체에 인쇄되는 페이스트를 구성함에 상기 페이스트가 고온에서 발열특성이 우수하고, 고온 환경의 공기 중에서도 물리 . 본 발명은 세라믹 히터를 제조하는데 있어 무기염화물 고화제에 알루미나 시멘트 20∼30중량％, 카본 10∼20중량％, 고화제 1∼30중량％, 게르마늄 등 다양한 종류의 천연석의 종석 또는 석분 10∼20중량％ 로 혼합시킨 저온 제조용 세라믹 히터 조성물에 관한 것이다. 통합 온도 조절 장치 . . 세라믹 히터(10)의 주면의 비표면적이 다수의 입자(6)가 고착되어 있는 것에 의해 증대되고, 피가열물로의 열 전달의 효율이 좋아져 가열 시간을 단축할 수 있다. 질화규소. 세라믹 히터(10)는, 표면에 웨이퍼 적재면(20a)을 갖는 세라믹 플레이트(20)와, 세라믹 플레이트(20)에 매설된 저항 발열체(22, 24)와, 세라믹 플레이트(20)를 세라믹 플레이트(20)의 이면(20b)으로부터 지지하는 통형 샤프트(40)와, 세라믹 플레이트(20)의 이면(20b) 중 통형 샤프트(40)에 둘러싸인 샤프트 내 영역 . 본 발명은 신뢰성이 향상된 세라믹 히터에 관한 것으로, 메쉬 타입의 금속 재질로 형성된 고주파 전극과, 상기 고주파 전극의 하면에 접촉되는 전극 로드 연결부재를 구비하는 히터 몸체부; 및 상기 히터 몸체부의 하부에 장착되어, 상기 히터 몸체부를 지지하는 히터 지지부를 포함하되, 상기 고주파 . KR20210098859A KR1020210011322A KR20210011322A KR20210098859A KR 20210098859 A KR20210098859 A KR 20210098859A KR 1020210011322 A KR1020210011322 A KR 1020210011322A KR 20210011322 A KR20210011322 A KR 20210011322A KR … 본 발명은 조리기기용 히터 발열체를 세라믹 성분으로 개발하여 Hot-Melt 용으로 세라믹 히터를 제조하는데 있어 무기염화물 고화제에 알루미나 시멘트 10∼20중량％, 카본 20∼30중량％, 고화제 1∼30중량％, 게르마늄 등 다양한 종류의 천연석의 종석 또는 석분 10∼20중량％ 로 혼합시킨 저온 제조용 . H — ELECTRICITY; H05 — ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; H05B — ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT A 세라믹 히터 Download PDF Info Publication number KR20010067260A. 주저항 발열체(22)는, 세라믹 플레이트(20)의 내부에 마련되며, 한쌍의 주단자(22a, 22b)의 한쪽으로부터 일필휘지의 요령으로 배선된 후 한쌍의 주단자(22a, 22b)의 다른쪽에 이르는 코일이다. Ymobile 한글판 다운nbi 세라믹 히터) 온풍건조기용 세라믹 히터 (IS-CRM_000068) A. 2021 · 세라믹 히터 Download PDF Info Publication number KR20180059761A. 세라믹 히터는 세라믹체와 코팅층을 구비한다. 본 발명은 원통형 세라믹튜브를 이용한 세라믹히터에 관한것으로, 일반적으로 상수를 데피는데 사용한다. 본 발명에 따른 센서 가열용 세라믹 히터는 99. 세라믹 히터(20)는 세라믹 플레이트(21)와, 원통형 샤프트(26)와, 도전막(30)을 구비하고 있다. KR101590051B1 - 세라믹 히터 - Google Patents
세라믹 히터) 온풍건조기용 세라믹 히터 (IS-CRM_000068) A. 2021 · 세라믹 히터 Download PDF Info Publication number KR20180059761A. 세라믹 히터는 세라믹체와 코팅층을 구비한다. 본 발명은 원통형 세라믹튜브를 이용한 세라믹히터에 관한것으로, 일반적으로 상수를 데피는데 사용한다. 본 발명에 따른 센서 가열용 세라믹 히터는 99. 세라믹 히터(20)는 세라믹 플레이트(21)와, 원통형 샤프트(26)와, 도전막(30)을 구비하고 있다.
유튜브 갤러리 2023 - H — ELECTRICITY; H05 — ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; H05B — ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR E 유체 가열용의 세라믹 히터에 있어서, 세라믹 히터의 표면으로의 스케일의 부착을 억제할 수 있도록 한다. 2020 · 질화알루미늄(AlN)을 소재로 한 세라믹 히터는 증착 장비(CVD)용 고기능성 세라믹 히터로, 증착공정에서 증착막 균일도와 막 두께의 영향을 주는 인자는 유전체층의 균일도와 온도가 영향을 줍니다. 세라믹 히터는 플레이트 및 에지 커버를 포함한다. Noritake's Far Infrared Heaters are environmentally friendly, conserving energy and performing highly efficiently heating.내열충격성. KR100942003B1 KR1020070128876A KR20070128876A KR100942003B1 KR 100942003 B1 KR100942003 B1 KR 100942003B1 KR 1020070128876 A KR1020070128876 A KR .
세라믹 플레이트(12)에는, 제1 비아(51)와 제2 비아(52)와 연결부(53)와 보강부(54)가 매설되어 있다. 조절세라믹성분은, 각각 열팽창 계수가 염기성 세라믹성분보다 큰 금속성 규산염, 금속성 탄산염, 금속성 붕화물, 금속성 . 출력/온도 : 600w D. KR20200103087A KR1020207022066A KR20207022066A KR20200103087A KR 20200103087 A KR20200103087 A KR 20200103087A KR 1020207022066 A KR1020207022066 A KR 1020207022066A KR 20207022066 A KR20207022066 A KR 20207022066A KR … [해결수단] 본 발명의 세라믹 히터는 세라믹 베이스체(1)의 내부에 폴딩 백부(2c) 및 폴딩 백부(2c)의 양단으로부터 각각 연장된 2개의 직선부(2a,2b)로 이루어지는 발열부(2)를 갖는 발열 저항체가 매설되어 있고, 2개의 직선부(2a,2b)는 횡단면 형상에 있어서 서로 . KR20010067260A KR1020000057290A KR20000057290A KR20010067260A KR 20010067260 A KR20010067260 A KR 20010067260A KR 1020000057290 A KR1020000057290 A KR 1020000057290A KR 20000057290 A KR20000057290 A KR 20000057290A KR … 세라믹 히터 Download PDF Info Publication number KR20210045473A. 개발결과 요약.
이러한 본 고안은 내부에 스크류가 설치되어 폐비닐 원료를 이송시키는 실린더에서, 상기 실린더의 외측을 감싸고 일정두께를 갖는 세라믹을 주물로 제작하되 내측에 길이방향으로 삽입홈을 방사상으로 . 반도체 증착 공정에 사용되는 핵심 부품인 세라믹 히터는 고출력의 플라즈마 분위기와 부식성 가스 노출이라는 가혹한 환경에서 사용되고 있기 때문에 고온과 높은 인가전압 조건에서의 우수한 전기 절연성, 내식성 등 요구되는 모든 특성을 충족하는 소재와 제조.상생 협력을 진심으로 기대합니다! 2019 · 세라믹히터는 원적외선이 방사되며 히터의 역사는 3. KR20210014764A KR1020217003208A KR20217003208A KR20210014764A KR 20210014764 A KR20210014764 A KR 20210014764A KR 1020217003208 A KR1020217003208 A KR 1020217003208A KR 20217003208 A KR20217003208 A KR 20217003208A KR … 2021 · 세라믹 히터 Download PDF Info Publication number KR20180125993A. o 20℃ ⇒ 400℃ 급속 승온 및 400℃ ⇒ 20℃ 급속 냉각 사이클의 신뢰성이 확보된 100mm*100mm*5mm 사이즈의 질화규소 소재 개발. 2016 · 본 고안은 사출기, 압출기와 같은 산업용 기계의 실린더 등을 가열하도록 설치되는 실린더 가열용 조립식 세라믹 히터에 관한 것으로, 파이프 형상으로 조립되는 세라믹 분체의 외측면에 삽입홈을 형성하고, 상기 삽입홈에 단열판이 결합되도록 하여, 조립식 세라믹 히터의 구조 상 단열판의 추가 . KR20220044644A - 세라믹 히터 - Google Patents
세라믹체는, 조절세라믹성분을 1 내지 3중량%의 범위로 함유하는 소결된 염기성 세라믹성분으로 형성된다. 세라믹 발열체는 새로운 유형의 고효율 환경 보호 및 내장형 발열선이 있는 에너지 절약형 세라믹 발열체인 알루미나 세라믹을 사용합니다. 세라믹 히터는 열전도율이 우수한 고효율 균일 히터의 일종입니다. KR20220003024A . 세라믹 히터 Download PDF Info Publication number KR20200103087A. 세라믹 히터 Download PDF Info Publication number KR101598014B1.무료 Git과 GitHub 시작하기 인프런 강의 - www github
본 발명은 열 전도율이 높아 히터판의 표면 온도가 발열체의 온도 변화를 신속히 추종시켜 효율적으로 가열면의 온도를 제어하고, 세라믹 히터에서 반도체 웨이퍼로의 불순물(예들 들면, Y)의 열 확산을 방지하는 세라믹 히터를 제공한다. 2014 · 본 발명의 반도체 웨이퍼용 세라믹히터 및 그 제조방법에 따르면, 소결 제조된 AlN 히터에 대한 오염원인 AlF의 발생을 근본적으로 차단하도록 균열이나 기공이 없는 Y2O3, Al2O3, 중 어느 하나의 코팅층을 히터에 형성하여 반도체 제조공정에 이용함으로써, 히터 . 플레이트는 플라즈마 환경에서 공정이 진행되는 웨이퍼가 놓여지는 중심 영역과 중심 영역의 외곽에 형성되어 플라즈마에 노출된 에지 영역으로 구분되며, 웨이퍼에 열을 제공하기 위한 저항 발열체가 내장된다. KR20210055090A KR1020217011815A KR20217011815A KR20210055090A KR 20210055090 A KR20210055090 A KR 20210055090A KR 1020217011815 A KR1020217011815 A KR 1020217011815A KR 20217011815 A KR20217011815 A KR 20217011815A KR … 세라믹 히터(31)는, 웨이퍼 적재면(32a)을 구비한 AlN 세라믹 기체(32)에, 웨이퍼 적재면(32a)에 가까운 쪽으로부터 플라스마 발생용의 RF 전극(33), 히터 전극(34)이 이 순서로 이격된 상태로 매설되어 있다. AlN 세라믹 기체(32)는, RF 전극(33)과 히터 전극(34) 사이에 마련된 AlN 세라믹 고저항층과, 고저항층 . 최종목표.
세라믹 히터, 가열면, 소용돌이 형상, 인쇄 전극 KR100942003B1 - 세라믹 히터 - Google Patents 세라믹 히터 Download PDF Info Publication number KR100942003B1. 크기 : 300*20Φ*2. KR20210045473A KR1020217008367A KR20217008367A KR20210045473A KR 20210045473 A KR20210045473 A KR 20210045473A KR 1020217008367 A KR1020217008367 A KR 1020217008367A KR 20217008367 A KR20217008367 A KR 20217008367A KR … 세라믹 히터 Download PDF Info Publication number KR20210098858A. 본 발명은 세라믹 상판; 상기 세라믹 상판의 하부 영역에 배치되며, 탄소섬유 재질로 형성되는 면상 발열체; 및 상기 면상 발열체에 연결되는 전극을 포함하는 것을 특징으로 한다. We recommend electric, gas and heat medium systems that meet the required product temperatures and the energy and environmental requirements of our clients. 세라믹 히터(10)는, 세라믹 플레이트(20)를 구비하고 있다.
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