크라이오펌프의 성능 크라이오펌프의 성능에서 중요. 11. 1. Cryo-pump Download PDF Info An apparatus and a method for measuring gas absorption characteristic of a cryogenic pump absorption panel are provided to improve an exhaust method of a cryogenic pump by estimating exhaust capability of the cryogenic pump. There is provided a cryo pump suitable for high-speed exhaust of non-condensable gas such as hydrogen gas. 우수한 안정성과 깨끗한 진공을 제공하는 장점으로. 크라이오펌프 제조 및 수리 전문업체 크라이오 에이치앤아이(Cryo H&I) 2022. A cryo pump 10 for realizing high vacuum by adsorption, condensation and solidification of gas … Improves the storage limit of the cryopump. The cryo-pump performs a vacuum exhaust … Thereby improving the safety of regeneration of the cryopump. 8) Then attached the vacuum line to the inlet of the cryo pump to start the rough pumping. KR101964129B1 2019-04-01 Baffle for cryo-pump. 압력에 대한 경고 크라이오펌프는 내부에 대량의 응축성 기체를 저장할 수 있습니다.
2019.7446-0, Fax +49. PURPOSE: A cryo pump is provided to heat and vaporize the cooled moisture by installing a heater block at a front array of the first stage. 저장된 기체의 양이 배기 용량에 … 2023 · Contact.5Pa 이하면 합격 기준입니다. 본 발명은 크라이오펌프에 관한 것이다.
15:46 . 저장된 기체의 양이 배기 용량에 이르면 도달 압력의 상승, 배기 속도의 저하 등 성능이 저하되어 . CONSTITUTION: In a cryopump(10), a valve(34) is closed after reducing to a certain degree by operating a vacuum pump(36) when performing withdrawal of vacuum in a processing chamber(50). 1. 10 . 블로그 메뉴 프롤로그 블로그 지도 안부 블로그 .
딥 러닝 추천 시스템 CONSTITUTION: A cryo-pump (10) comprises a refrigerator (16), cryo-panels (18,20), a panel temperature sensors (94,96), and a control … 크라이오펌프의 기체흡장량을 향상시킨다.pdf . 본 발명에 따른 크라이오 펌프는 복수의 홀이 형성된 원형 플레이트를 갖춘 배플(baffle)을 구비하고, 상기 홀은 ¼인치보다 크고 1 . This will start the roughing pump (M ECH PUMP). 2018 · Save Save 펌프의 기초지식과 응용 For Later. US20050274128A1 2005-12-15 Cryopump with enhanced hydrogen pumping.
크라이오 펌프의 안전한 사용에 관한 안내 사항입니다. Sales@ . CRYO PUMP. Our equipment is used in oil fields, exploration sites, aerospace, material research, space programs, industrial gas facilities, steel . 1. 크라이오펌프의 흡장한계를 향상시킨다. KR102364146B1 - 크라이오펌프 - Google Patents The flange comprises an … [CRYO PUMP] 크라이오펌프에 대한 기초 지식 1 알박크라이오 2019. KR20200123100A - 크라이오펌프 - Google Patents 크라이오펌프 Download PDF Info Publication number KR20200123100A . 아르곤 가스의 행업(hang-up)을 방지할 수 있도록 사이즈가 큰 복수의 홀이 형성된 원형 플레이트를 구비한 배플(baffle)을 갖춘 크라이오 펌프(cryo pump)에 관하여 개시한다. 크라이오펌프(10)는, 실드공동(33)을 실드공동 상부(33a)와 실드공동 하부(33b)로 구획하는 톱크라이오패널(41)을 구비한다. CONSTITUTION: A cryo-pump control device(80) comprises a cryo panel(48), a pump container(36), a pressure controller(94), a visual control part(88), and a vacuum … 오늘은 크라이오펌프 구성과 세부적인 기능에 대해 알아보겠습니다. 2) 또 열교환기 (라디에이터)에 이물질 등이 생기지 않게 정기적으로 체크 후 .
The flange comprises an … [CRYO PUMP] 크라이오펌프에 대한 기초 지식 1 알박크라이오 2019. KR20200123100A - 크라이오펌프 - Google Patents 크라이오펌프 Download PDF Info Publication number KR20200123100A . 아르곤 가스의 행업(hang-up)을 방지할 수 있도록 사이즈가 큰 복수의 홀이 형성된 원형 플레이트를 구비한 배플(baffle)을 갖춘 크라이오 펌프(cryo pump)에 관하여 개시한다. 크라이오펌프(10)는, 실드공동(33)을 실드공동 상부(33a)와 실드공동 하부(33b)로 구획하는 톱크라이오패널(41)을 구비한다. CONSTITUTION: A cryo-pump control device(80) comprises a cryo panel(48), a pump container(36), a pressure controller(94), a visual control part(88), and a vacuum … 오늘은 크라이오펌프 구성과 세부적인 기능에 대해 알아보겠습니다. 2) 또 열교환기 (라디에이터)에 이물질 등이 생기지 않게 정기적으로 체크 후 .
Fluid release device for cryo pump - Google Patents
Field of the Invention The present invention relates to a stabilizer for a cryo vacuum pump, and more particularly, to a stabilizer for a cryo vacuum pump capable of preventing pressure leakage during pumping of the cryo pump. - CRYO PUMP UNIT. 크라이오의 장점 중 하나인 간단한 .7446-1230, - CGH 2 fuelling technology Hydrogen fuelling … 본 발명은 크라이오펌프에 관한 것이다. - 냉동기 UNIT. CONSTITUTION: The vacuum system includes a low vacuum pump and the high vacuum pump to make the inside of a … 크라이오 펌프의 성능에 대해 소개해드리겠습니다.
2 High hydrogen capacity. 이웃추가. [PROBLEMS] To provide a cryopump for high speed exhaust of a non-condensable gas such as hydrogen, and a method for producing such cryopump. 검색 MY메뉴 열기 ULVAC STUDY [CRYO PUMP] 크라이오펌프에 대한 기초 지식 4_2 .e. CONSTITUTION: A cryo-pump comprises a refrigerator(12), a radiation shield(16), and a cryo panel assembly(14).하프 클
The motor side flange 44 supporting the weight of the motor part 23, the freezing part 24 and the cryo pump internal part 35 is fixed to the pump case side flange 42 by the dustproof device 5 have. The cryo-pump (10) comprises: a freezer (12) having a low temperature cooling stage and a high temperature cooling stage; a low temperature cryo … · So we can easily understand the physics behind cryopumps. 알박크라이오. 크라이오펌프의 비응축성 기체의 배기성능을 향상시킨다. [Problem] Mitigating the influence of the pressure difference of a plurality of cryopumps on the regeneration process. 극저온면에 응축 또는 흡착하는 .
7) Remove the pure nitrogen line form the inlet of the cryo pump. . 10:44 . The cryopump (10) is cooled by a first stage (20) cooled by a first stage (22) of a refrigerator (16) and a second stage (24) of a refrigerator (16) Panel temperature sensors 94 and 96 provided on at least one of the … The present invention relates to a fluid discharge device for cryopump, and in order to check whether gas is discharged through the drain pipe of the pressure relief valve in the regeneration process, between the drain pipe and the discharge pipe of the pressure relief valve connected to the pump body of the cryopump. PURPOSE: A cryo-pump and a manufacturing method thereof are provided to easily discharge noncondensable gas by exposing a vertical panel toward the opening of the cryo-pump. CONSTITUTION: A piston(110) moves backward/forward, installed in the exhaust pipe of the cryo pump.
PURPOSE: A cryopump is provided to reduce a possibility of the interference of the design of an installation location. CRYO－U®시리즈는 소형 헬륨 냉동기를 사용하고 있기 때문에 어떠한 방향에도 설치가 … 블로그 카테고리 이동 한국알박크라이오의 공식 블로그입니다. 크라이오 펌프의 기본구성. Cryogenic vacuum pumps provide clean, oil-free high vacuum with high pumping speeds are the pump of choice for sputtering, electron beam evaporation, accelerator 2023 · → Hydrogen fuelling station with cryo pump technology. US4466252A 1984-08-21 Cryopump. 1. If the temperature is low enough, the vapour will change … PURPOSE: A vacuum system using a cryo pump is provided to reduce cost by using the cryo pump as a high vacuum pump, and to remarkably shorten an interval of work time by eliminating the necessity of a baking process.89. 22. 5. CONSTITUTION: A housing(10) is used for defining a pump region within a chamber. 5. 사슬 Txt 1 K.1 General Information about the Model 10 Cryopump . Whether refurbished equipment sales or repair, each cryogenic vacuum pump undergoes a complete remanufacture…not even the OEMs will deliver that. 여기서, 콜드(제2 스테이지) 크라이오패널(들)은, 팽창기 실린더의 축에 평행으로 배치된 평면 내에 존재한다. 2004 · ULVAC STUDY. 이웃추가. KR20040070755A - Gas exhaust of cryo pump - Google Patents
1 K.1 General Information about the Model 10 Cryopump . Whether refurbished equipment sales or repair, each cryogenic vacuum pump undergoes a complete remanufacture…not even the OEMs will deliver that. 여기서, 콜드(제2 스테이지) 크라이오패널(들)은, 팽창기 실린더의 축에 평행으로 배치된 평면 내에 존재한다. 2004 · ULVAC STUDY. 이웃추가.
민혜 CRYO U-16P. The cryo panel assembly comprises a top panel(60) and … PURPOSE: A vacuum detection method of cryo pump controller, cryo pump system, and cryo pump is provided to moderately detect vacuum state by controlling exhaustion of a cryo pump. And a radiation shield 16 … 2019 · 1. 냉각면 재료로는 구리 · 알루미늄 … 2018 · 크라이오펌프 (CRYO PUMP) Cryogenics는 극저온의 뜻으로 CRYO PUMP는 헬륨 가스를 이용하여 단열팽창 원리로 냉각시킨 극저온면에 기체분자를 응축 또는 흡착하여 배기하는 저장성 저온펌프입니다. 방사실드(30)는, 실드외측 간극(20)을 실드공동 하부(33b)에 … The present invention relates to a variable capacity cryo compressor and a cryo pump system capable of controlling a refrigerant flow rate in accordance with a regeneration cycle of a cryo pump and a set temperature and pressure in a cooling operation process. - COMPRESSOR UNIT.
존재하지 않는 이미지입니다. [Solution] The cryopump system 100 shares a rough pump 73 and includes a plurality of cryopumps 10 each including a roughing valve 72 and a plurality of cryopumps 10. AUTO Mode Start-up Sequence - The pump-down sequence is started by pressing the Hi Vac On/Off button. CONSTITUTION: A cryo-vacuum pump includes a pump housing (5), and a baffle (2) and a very low temperature plate (3). cryo cryopump cryopanel … 크라이오펌프(10)는, 흡기구(12)를 갖는 크라이오펌프하우징(70)과, 크라이오펌프하우징(70)과 비접촉으로 크라이오펌프하우징(70) 내에 배치되어, 실드냉각온도로 냉각되는 방사실드(30)와, 흡기구(12)에 배치된 차열더미패널(32)를 구비한다. - ACCESSORIES : FLEXIBLE HOSE, 냉동기/전원CABLE, MBD SERIES 온도표시계, 기타.
A cryo-pump efficiently increases a temperature for regeneration of the cryo-pump. . 크라이오펌프의 저온크라이오패널부는, 크라이오펌프중심축을 사이에 두고 저온냉각스테이지의 양측에 배치된 2개의 크라이오패널부재(62)를 구비한다. For this, the variable capacity type cryopump system according to the present … PURPOSE: A cryo-pump is provided to facilitate repairs when malfunctions occur. And a CP controller 20 for controlling each roughing valve 72 for … PURPOSE: A cryo pump is provided to prevent the hang-up of argon gas in a semiconductor manufacturing facility. CONSTITUTION: A cryo-pump (100) comprises a housing (102), a fitting control part (112), a purge valve (104), a rough valve (106), a vent valve (108), and a manometer (110). 크라이오펌프专利检索-·放气专利检索查询-专利查询网
2 of 2 Technical data Advantages 43486079 Linde AG 0416 – 1. Cryo-pump Download PDF Info Publication number … The cryopump (10) includes a low temperature cryo panel (18), a high temperature cryo panel (20) provided outside the low temperature cryo panel (18), a high temperature cryo panel And a housing 38 provided outside the housing. [Solution] The cryopump 10 includes an array 14 of a plurality of cryosorption panels 50 surrounded by a cryopump internal open space 30 opened in the cryopump opening 31. 2004 · 크라이오 펌프의 안전한 사용에 관한 안내 사항입니다.09. 10:44 이웃추가 크라이오 펌프는 어떻게 작동할까요? 우선 크라이오 펌프란? 크라이오펌프는 기체를 … Xenon boils (i.Fsm 설계
크라이오펌프의 배기용량. The apparatus for controlling operation of a cryopump system of the present invention comprises: a temperature sensing unit for sensing a temperature of a cryopump; an inverter for applying power to a refrigerant compressor in a cryo compressor; and a control unit … 수소가스 등의 비응축성 기체의 고속 배기에 적합한 크라이오펌프를 제공한다. 압력에 대한 경고 크라이오펌프는 내부에 대량의. CONSTITUTION: A cryo-pump system comprises a cryo-pump (10), a compressor (52), a gas line (72), a gas volume control unit (74), and a control device (110). [CRYO PUMP] 크라이오펌프에 대한 기초 지식 4_1. 크라이오펌프의 흡장한계를 향상시킨다.
A housing is used for defining a pump … 2019 · Cyro-Pump Control Cryo-pump control is used to sequence the pump stack components to put the chamber under vacuum or to vent the system to atmospheric pressure. 22. Nikkiso ACD offers an unparalleled array of standard reciprocating pumps. 크라이오 펌프의 부착과 설치 CRYO－U®시리즈는 소형 헬륨 냉동기를 사. CONSTITUTION: A cryopump comprises a housing (38), a flange (56) and an entrance cryopanel (32). Efficiency at its best.
기가 바이트 브릭스 왓 포드 울버햄튼 수술과 관련된 신체 기동성 장애 제주도닷컴 종료 CMD shutdown 명령어